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VT6000國產(chǎn)共聚焦顯微鏡基于激光共聚焦顯微技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

VT6000國產(chǎn)共聚焦顯微鏡品牌主要測量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。擅長微納級(jí)粗糙輪廓的檢測，所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等工業(yè)材料領(lǐng)域中。

VT6000激光共聚焦顯微鏡檢測設(shè)備的測量方式是非接觸式，不會(huì)破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比，可以更準(zhǔn)確量測物體高度，建立3D立體影像。

中圖儀器VT6000系列激光掃描共聚焦顯微鏡?在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測量的光學(xué)檢測儀器。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW1光學(xué)3D白光干涉儀?分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)?？梢杂糜跍y試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

中圖儀器激光掃描共聚焦顯微鏡技術(shù)集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測量前工作。結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。